בדיקת המתקנים מתבצעת בתהליך שיטתי: ראשית, מתבצעת הכנה מוקדמת לבדיקה-, הכוללת ניקוי משטח המתקן, אימות רף הבדיקה והתקנת חלקי כיול סטנדרטיים.
השלב השני כולל בדיקת מצב ראשונית, המאשר כי אין נזק ברור או רפיון באמצעות בדיקה ויזואלית וכלים פשוטים.
השלב השלישי הוא שלב בדיקת הליבה: לדיוק גיאומטרי, מכונת מדידת קואורדינטות (CMM) משמשת לאיסוף נתוני מיקום ענן נקודות תכונה לאורך נתיב מוגדר מראש, והסטייה מחושבת על ידי השוואה בינה לבין מודל התכנון; בדיקת כוח הידוק כוללת הידוק חוזר ונשנה של בלוק בדיקה סטנדרטי תחת לחץ מדורג באמצעות חיישן כוח, תוך רישום טווח תנודת ערך הכוח; דיוק החזרה מצריך הידוק ושחרור של חומר העבודה שוב ושוב, ומדידת שגיאת האיפוס באמצעות מחוון חיוג.
השלב הרביעי כולל בדיקה דינמית, כגון ניטור תדר התהודה של המתקן באמצעות מד תאוצה בסביבת רטט מדומה לעיבוד שבבי.
לבסוף, נוצר דוח בדיקה, המתעד פריטים-שחוץ-מתוך סובלנות ומספק הצעות לשיפור. היבטים מרכזיים כוללים: בקרת הטמפרטורה והלחות של סביבת הבדיקה, כיול מכשיר קבוע, ואימות התוקף הסטטיסטי של רכישת הנתונים.
